
随着微电子技术的不断进步,二极管阵列的制造工艺正朝着更高集成度、更优性能方向演进。其生产过程涉及光刻、掺杂、金属化等多个精密步骤,要求极高的工艺控制水平。
(1)晶圆准备:采用高质量硅片作为基底,确保材料均匀性和晶体完整性。
(2)光刻与蚀刻:利用深紫外光刻技术实现纳米级结构刻画,形成精确的二极管单元。
(3)掺杂与结形成:通过离子注入或扩散工艺建立PN结,控制载流子浓度以优化响应特性。
(4)封装与测试:采用真空封装或陶瓷封装保护芯片,防止湿气与机械损伤。
预计到2030年,二极管阵列将在量子传感、自动驾驶感知系统中扮演核心角色。
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